晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下：请回答下列问题：(1)二氧化硅与焦炭反应

题目：

晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下：

请回答下列问题：
(1)二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳。该反应的化学方程式为。
(2)蒸馏属于变化(填“物理”或“化学”)。
(3)完成由下列纯SiHCl₃制取高纯硅的化学方程式：

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